摘要:随着对海洋生态保护和资源开发需求不断增长，磁传感器在数字海洋的应用逐渐成为研究重点。 通过光刻工艺和磁控溅射技术，制备了基于NiFe 材料多层复合结构的GMI薄膜样品，并开发了高灵敏度的 GMI传感器。为了测试样品的GMI效应，利用矢量网络分析仪搭建了实验测试平台，分析阻抗变化率随驱动频率和外加磁场的变化情况。结果表明：NiFe样品在纵向GMI效应下的阻抗变化率显著高于横向GMI效应， 成功制备出灵敏度为13.5%/Oe的GMI薄膜器件。研制出微型化、高灵敏的GMI传感器，为数字海洋监测和安防的智能传感器网络提供了新的解决方案。